无氧烤箱

450度光刻胶固化无氧烤箱

产品品牌:HASUC

产品型号:FB无氧烤箱

详 细 介 绍
450度光刻胶固化无氧烤箱
450度高温无氧烤箱采用智能烘箱过程管理系统,由威尼斯人app下载自主研发,基于TCP/ip协议,与工厂系统对接,实现自动化烘烤,过程管理。控制方便、操作简单、灵活性大。高精度控制、智能化操作、人性化的构造,大大提高生产效力!

450度高温无氧烤箱主要做BPO胶/PI胶/BCB胶固化,IC(晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指纹识别)、FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料无尘烘干,电工产品、材料、零备等高温洁净和无氧环境中干燥和老化试验。

450度高温无氧烤箱主要技术指标
1、洁净等级:Class100级
2、含氧量:<=20PPM
3、使用温度:RT~400℃,可做温度:450℃;
4、腔体数量:2个,上下布置;独立控温
5、炉膛材料:SUS304镜面不锈钢;加热元件:不锈钢加热器;热偶
6、空炉升温时间:1.5h;
7.空炉降温时间:375℃--80℃;降温时间1.5-3.5小时 (采用水冷及风冷);
8.智能控制系统:日本欧姆龙PCL+PC工控电脑

智能控制系统特点:
◆ 可接入MES和ERP通讯
◆ 权限分级管理,给每个管理者、工程师、操作员独立用户名和密码
◆ 智能控制系统,历史数据、操作、报警,事件等等数据查询,记忆操作步骤,操作便捷
◆ PC 内部记录数据,使用 Excel 等常用App可以读取,数据记录间隔5S;
◆ 工厂系统,选择烘烤工艺,启动/停止烘箱;
◆ 工厂系统根据,过程判断待烤料件工位,记录反馈工位信息;
◆ 系统控制开/关门等动作;
◆ 系统记录并处理各种烘箱异常事件。如:超温,氮气不足,含氧量超标、门未关到位;
◆ 实施记录各种相关数据,如,温度,料件ID,工艺信息

工艺线标准
1、在常温下以3-5℃/min升温速率升温40分钟到200℃
2、200℃状态下恒温45分钟
3、再40min升到375℃
4、375℃恒温1H
5、以每分钟3-5℃的降温速率,79min左右从375℃降到75℃




产品参考图:
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